茂丞超聲波晶片 搶進國際會議

茂丞科技（深圳）總經理邱奕翔展示8吋晶圓製作之新一代微型超聲波晶片。圖／業者提供

茂丞科技（6663）成功研發出新一代微型超聲波晶片量產技術，在八吋矽圓片上生產傳輸效率更高的氮化鋁壓電微機械超聲波感測器（AlN pMUT）；尺寸可縮小至幾百微米的AlN pMUT，可同時作爲感測器及接收器，實現體積小、低功率消耗的「超聲波飛行時間感測器」；日前在泰國曼谷IEEE-NEMS會議上，超聲波技術成果獲會議錄用及發表三篇技術文章。

第十四屆國際電氣與電子工程師協會微納工程與分子系統會議（簡稱IEEE-NEMS會議），4月11～14日於泰國.曼谷召開，此一會議爲微／納米機電系統（MEMS/NEMS）、微/納米分子製造、納米材料、分子感測器、致動器、微／納米流體等領域之高水準重要國際學術會議，最新研究成果受到全球各地此一領域專家、學者關注與分享。

茂丞科技超聲波技術負責人邱奕翔表示，茂丞科技（深圳）有限公司與北京大學深圳研究生院產學研合作下，針對AlN（氮化鋁）壓電微機械超聲波感測器（pMUT）展開研究，在新結構器件關鍵技術開發上取得重要進展，成功實現八吋矽圓片製程的生產，並取得較高的超聲波傳輸效率。AlN pMUT是一個多層薄膜結構，尺寸可縮小至幾百微米級別，當受到週期性外部刺激（入射聲波）激發時，可在彎曲模式下振動，從而在壓電膜中產生彎矩並因此產生機械應力，由於直接壓電效應，這種機械應力又轉換成電荷，反之亦然，可作爲感測器也可以作爲接收器。此特性可實現體積小、低功率消耗的「超聲波飛行時間感測器」。

董事長劉彥良表示，茂丞致力於新一代微型超聲波技術研發，至今研發成果除2019 IEEE-NEMS國際會議發表之外，也將於5月美國拉斯維加斯召開的第六十九屆國際電子元器件技術會議上接續發表。

劉彥良說，在重要國際會議上被錄用與發表，彰顯茂丞科技在超聲波晶片技術上取得領先水準，目前超聲波晶片技術也已完成多個國內外專利申請。未來新一代微型超聲波商品化應用上能爲無人飛行機、機器人、工業機械手臂提供低功耗、準確、不受環境光線、噪音影響的距離感測，也可用於智慧型手機於增強現實技術（AR）、虛擬實境技術（VR）之追蹤觀測物體。