亞東工業氣體碳捕捉設備落成 助力半導體先進製程

亞東工業氣體碳捕捉設備今日落成啓用。圖／亞東氣體提供

亞東工業氣體今（24）日於桃園觀音廠落成碳捕捉設備，透過二氧化碳回收製程，可提升現有之電子級氫氣產量約 20%，並回收超過90%製程中產生的二氧化碳，回收的二氧化碳經過純化，將供應給半導體客戶的先進製程使用。本套設備可透過製程效率的提升，爲半導體客戶的先進製程提供高品質的產品，並透過製程效率的優化，落實亞東的減碳承諾。

亞東觀音廠生產純度99.9995%以上的電子級氫氣供應半導體與面板產業。而透過此套碳捕捉設備的落成，亞東不僅可大幅度提升氫氣產量，更回收超過九成的二氧化碳，再透過純化製程，生產高純度二氧化碳，供應半導體先進製程使用。

亞東工業氣體總裁Olivier LETESSIER表示，作爲全球工業氣體的領導者與半導體產業最堅實的夥伴，亞東持續導入創新科技優化製程，提高生產效率，達到資源更有效的應用。透過此套碳捕捉設備的啓用，我們得以提升產量，爲客戶提供更穩定、更充沛的高純度氫氣與二氧化碳產品並減少碳足跡。

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