資騰科技優化半導體制程產品Semicon China 2024亮相

超潔淨金屬氣體過濾器。圖／佳世達提供

佳世達集團羅升企業旗下資騰科技參加Semicon China 2024展覽，展示多項協助優化半導體制程的創新產品，如超潔淨金屬氣體過濾器、超高精度光阻塗布泵等。

資騰科技總經理陳國榮表示，因應全球ESG、第三代半導體等趨勢需求，今年資騰科技將展示一系列針對半導體制造行業的創新產品，旨在提高製程效率、減少環境負荷，並支援產業的永續發展。

超潔淨金屬氣體過濾器是次世代奈米工廠必備，金屬燒結微米級不鏽鋼（SUS 316L）短纖維製成薄層金屬膜過濾器，皺褶狀設計增加過濾面積。Load lock chamber排氣過濾而設，縮短排氣時間，提高機臺5～8％的稼動率。

超高精度光阻塗布泵適用於半導體黃光製程光阻塗布，以及其他需要精準控制藥液噴吐量的應用場景，幾乎零藥液浪費，可與半導體設備(如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等)匹配使用。提供氣缸式和馬達式控制，穩定性高且壽命長，資騰提供在地即時服務支援。

非接觸型渦漩式吸筆是資騰自主研發，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學元件，避免晶圓或是光學元件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩定性。具有客製化和價格優勢，目前已有SiC與光學元件廠客戶銷售實績。

資騰充分考量中國市場特性和全球趨勢，針對ESG、第三代半導體、新建晶圓廠、設備等領域提出不同的解決方案。