中瓷電子：陶瓷加熱盤產品已批量應用於國產半導體關鍵設備

財聯社11月20日電，中瓷電子在互動平臺表示，公司已開發了精密陶瓷零部件用氧化鋁、氮化鋁核心材料和配套的金屬化體系，建立了完善的精密陶瓷零部件製造工藝平臺，開發的陶瓷加熱盤產品核心技術指標已達到國際同類產品水平並通過用戶驗證，實現了關鍵零部件的國產化，已批量應用於國產半導體關鍵設備中。