浙江盛視檢測裝備申請高精度快速度的圖案晶圓自動對焦系統及方法專利，能準確地探測帶圖案晶圓表面與大NA 物鏡間的距離變化

金融界2024年11月14日消息，國家知識產權局信息顯示，浙江盛視檢測裝備有限公司申請一項名爲“一種高精度快速度的圖案晶圓自動對焦系統及方法”的專利，公開號 CN 118936325 A，申請日期爲2024年8月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種高精度快速度的圖案晶圓自動對焦系統及方法。方法包括：光源出射的光經由準直透鏡、分光鏡、投影透鏡、分光鏡以及顯微物鏡，形成入射照明光路；掩膜被置於準直透鏡和投影透鏡之間，入射照明光路經掩膜使得待測晶圓上形成光柵狀的第一平面成像；晶圓上的第一平面成像再反射，經由顯微物鏡、分光鏡、投影透鏡以及分光鏡所構成的反射收集光路後，形成第二平面成像被相機所收集；相機收集到光柵狀的第二平面成像，經過圖像處理算法測得待測晶圓表面的離焦距離。本發明可以準確地探測帶圖案晶圓表面與大NA 物鏡間的距離(高度)變化，自動對焦的光學系統簡單。

本文源自：金融界

作者：情報員