西安奕斯偉申請化學氣相沉積設備專利，沉積過程中可獲取距離並進行溫度補償

金融界2024年12月7日消息，國家知識產權局信息顯示，西安奕斯偉材料科技股份有限公司申請一項名爲“化學氣相沉積設備”的專利，公開號CN 119082867 A，申請日期爲2024年8月。

專利摘要顯示，本公開實施例公開了化學氣相沉積設備，所述化學氣相沉積設備包括：承載件，用於承載基板；設置在所述承載件上方的測距裝置，用於在化學氣相沉積過程中實時獲取其與所述基板上已形成的沉積層的表面上不同區域中的每個區域之間的距離；設置在所述承載件下方的溫度補償裝置，用於對待溫度補償的區域進行溫度補償。

本文源自：金融界

作者：情報員