我國首次建立基於硅晶格常數溯源的集成電路納米線寬標準物質

財聯社9月13日電，中國計量科學研究院的納米線寬標準物質研製團隊，以國際計量局規定的國際單位制米定義復現方法——硅晶格{220}方向尺寸（0.192nm）爲基礎，採用內稟硅晶格原子標尺的線寬標準物質設計方案，實現對線寬標準物質的原子級準確度（<1nm）計量溯源，突破了現有波長計量基準（633nm）溯源方式對線寬測量的5nm不確定度水平極限，成功研製了與集成電路關鍵製程節點相對應的7nm、22nm、45nm的線寬標準物質，不確定度水平處在0.32～1.3nm，初步構建了基於硅晶格常數溯源的集成電路高準確度納米線寬計量溯源體系，爲保障集成電路與原子級製造幾何量值的準確性奠定了堅實計量基礎。 (央視新聞)