上海威凱取得一種光伏用石墨舟的幹法刻蝕清洗與飽和鍍舟一體化設備專利，操作方便清洗效率高

金融界2025年1月7日消息，國家知識產權局信息顯示，上海威凱膜精密設備有限公司取得一項名爲“一種光伏用石墨舟的幹法刻蝕清洗與飽和鍍舟一體化設備”的專利，授權公告號CN 222261104 U，申請日期爲2024年6月。

專利摘要顯示，一種光伏用石墨舟的幹法刻蝕清洗與飽和鍍舟一體化設備，屬於石墨舟清洗設備技術領域；包括刻蝕清洗系統、承載車、軌道中轉車和尾氣處理系統，刻蝕清洗系統包括刻蝕清洗爐、加熱系統、真空系統、配氣系統與氣體均勻噴淋板、RPS射頻發生器、射頻/中頻電源和控制系統。本實用新型公開的設備能夠對使用後表面覆蓋有氮化硅、非晶硅、多晶硅等塗層的石墨舟進行幹法蝕刻清洗，並且在刻蝕清洗完成後進行石墨舟飽和鍍膜，可以直接用於下一次硅片的沉積；具有結構緊湊、操作方便清洗效率高清洗刻蝕氣體用量少機多能與飽和鍍舟工藝相結合，縮短工藝時間，提高石墨舟週轉效率等優點。

天眼查資料顯示，上海威凱膜精密設備有限公司，成立於2023年，位於上海市，是一家以從事批發業爲主的企業。企業註冊資本500萬人民幣，實繳資本245萬人民幣。通過天眼查大數據分析，上海威凱膜精密設備有限公司專利信息6條。

本文源自：金融界

作者：情報員