上海光機所在EUV和軟x射線首次實現結構渦旋光調控

財聯社5月14日電，近期，中國科學院上海光學精密機械研究所高功率激光物理聯合實驗室張軍勇副研究員聯合哈爾濱工業大學趙永蓬教授課題組和上海理工大學詹其文教授課題組，首次完成EUV和軟x射線的結構渦旋光調控與實驗驗證，爲極紫外和軟x射線波段的結構光刻、結構分束調控，和短波超分辨成像開闢了可行的技術途徑。相關成果以“Producing focused extreme ultraviolet vortex with Fermat-spiral photon sieves”爲題，發表於PhotoniX。