老美隨時能掐死！採購EUV夢碎 中芯猛招求生仍差1步

中芯國際。(圖/中新社資料照)

大陸晶圓代工龍頭中芯國際近年在美中科技戰之下淪爲第一線遭到衝擊的陸企，先是先進製程所需的極紫外光(EUV)微影設備進口遭到美國政府阻斷，甚至遭列美國貿易黑名單，導致與美企的業務往來遭到大幅限制，中芯也轉爲加強發展成熟製程，並關注在相關設備需求上。

據《集微網》報導，中芯資深副總裁彭進日前指出，在源源不斷的訂單需求下，受美國禁令影響，讓半導體生產設備出口審批週期延長及設備交期本身也延長的影響，中芯擴產的進度依然沒有滿足客戶的產能需求。彭進表示，今年中芯8吋晶圓產能擴產4.5萬片，較原先預期少35%，12吋擴產1萬片，比計劃少了1萬片，對中芯、客戶和整機廠都帶來了較大的影響，目前看來成熟製程擴產還需要3~6個月時間，2022年、2023年擴產水準會持續超過今年規模。

中芯今年3月宣佈，與荷商艾司摩爾(ASML)簽約的12億美元(約334億元新臺幣)深紫外光(DUV)微影設備訂單，期限到今年底。ASML全球副總裁、中國區總裁沈波今年11月指出，對大陸出口曝光機維持開放態度，並在合乎法律框架下全力支持，除了EUV機臺，其他產品都可以向大陸客戶出貨。ASML近年出貨到大陸市場佔全球銷量3成，目前在大陸裝機量接近1000臺。

至於日前再度傳出，連中芯成熟製程所需的DUV機臺也將被美國政府禁止出口，但最終在美國商務部提出質疑，認爲這也會傷害美企利益下暫時擱置，但隨着當時訂單期限只剩下5天，中芯能否順利得到DUV機臺也備受外界關注。若中芯國際無法取得DUV機臺，於北京興建用以28奈米制程、12吋晶圓廠，以及日前宣佈在上海、深圳的110 億美元擴產計劃，預計2023年開出的產能將面臨困境。

力積電董事長黃崇仁先前受訪表示，確實有看到中芯客戶尋找第二供應商，雖然大陸努力建立半導體自主供應鏈，但與美國抗衡難度相當高。

中芯目前的產能主要用來生產大陸市場所需的汽車電源管理晶片 (PMIC) 和微控制器 (MCU)，隨着美國去年將中芯列爲貿易黑名單，北京當局也推出政策，要求國內產商優先供應本土企業，這也導致晶片嚴重緊缺，甚至在2021年爆發晶片荒，最新市場評估指出，可能要等到2022年下半年開始有產能開出，纔有機會舒緩這場危機。

DUV機臺雖然主要拿來使用在成熟製程晶片，但包括臺積電、三星電子，也能拿來生產10奈米以下製程晶片。其中，臺積電在生產第一代7奈米制程(N7)，透過DUV的193nm浸潤式ArF微影生產。但業界人士認爲，使用DUV曝光機透過液體浸潤多重曝光後雖能縮小線距，但要做到與EUV的13.5奈米波長等效，也就是達到臺積電7奈米制程的良率與成本，恐怕還有一大段距離，但只要DUV機臺也遭到美國政府阻斷，恐掐死最後的希望。

綜合陸媒報導，大陸半導體企業使用ASML的DUV相關設備的有超過千件，爲了滿足大陸本土龐大需求，先前報導也指出正從日本取得二手半導體生產設備，也讓這塊市場持續成長。

陸媒《AI財經社》也在今年稍早報導，資深業界人士提到，中芯面臨的困難比想像的要大得多，「現在的情況是，美國設備的出口被卡得很死，國產設備頂上來還要時間，這給中芯國際帶來了不確定性」。

但就中芯聯合首席執行長梁孟鬆曾透露，中芯28奈米、14奈米、12奈米以及N+1製程都進入規模量產，開發中的7奈米制程也已經完成，預計2022年就可以投入風險量產，是否仍有機會取得設備來供應晶片，將成外界關注焦點。