《國際產業》侵犯微影技術專利,尼康狀告艾司摩爾、蔡司

尼康週一發佈聲明表示,在未獲尼康的許可下,荷蘭商艾司摩爾與德商蔡司在艾司摩爾賣給全球半導體業的微影系統中使用尼康的專利技術,此爲侵犯尼康的專利權。

尼康是全球第八大晶片設備廠,該公司表示已經分別在荷蘭、德國與日本控告艾司摩爾和蔡司侵犯專利。