《國際產業》ASML證實中芯採購DUV設備

半導體設備製造商艾司摩爾週三宣佈,已經延長與中芯國際的設備訂購合約,至今年底到期。

中芯國際於週三稍早發表聲明,揭露了一項採購協定,稱已支付艾司摩爾12億美元的工具設備採購。

艾司摩爾於週三稍晚發出聲明稿,表示該協定始於2018年,原定2020年底到期,然雙方於二月達成新協議,將期限延長至2021年底。

艾司摩爾週三的聲明表示,與中芯國際的批量採購協議是關聯到名爲深紫外光刻機(DUV)較舊的技術。艾司摩爾執行長Wennik先前於一月曾表示,如果公司能將較舊技術賣給中國,對公司將有極大獲益。艾司摩爾去年140億美元營收,有17%來自中國。

艾司摩爾爲全球用於製造晶片的光刻機設備最大的供應商,其生產的極紫外光刻機(EUV)爲製造先進晶片關鍵性的生產工具。

美國商務部則於去年12月將中芯國際列入貿易黑名單,要求美系半導體設備供應商在供貨中芯國際之前,需事先獲得商務部准許。

然而美國對中芯的抵制,爲早於商務部的正式規定。美前總統川普行政團隊早於2019年已經開始對艾司摩爾施壓,要求荷蘭官員取消對中國的EUV銷售許可;根據目前的紀錄,荷蘭官方至今仍未批准任何對中國的EUV銷售。