半導體製程朝「埃米」邁進 成大材料系成果登國際期刊
成大材料系助理教授徐邦昱(右二)團隊最新研發成果,讓半導體突破奈米等級,朝更微小的埃米邁進,登上國際期刊,備受矚目,而團隊成員包含碩士生楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承(由左至右)。圖/成大提供
近年來臺灣半導體產業鏈引領全球,目前半導體制程雖主要爲奈米等級,但產業界持續朝向更微小的「埃米(奈米的10分之1)」推進,國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱團隊,利用自行組裝的設備,讓半導體分子能自動整齊排列,操作精度達到埃米等級,打開半導體制程埃米紀元,成果更發表在國際期刊 Macromolecules,受到各界矚目。
徐邦昱表示,目前半導體制程主要是在微小的基板上,依靠相近的原子晶格,透過高真空磊晶設備控制長出晶體,再蝕刻提升精準度,要讓細小的分子乖乖聽話,長在該長的地方,很不容易,因此才需要價格昂貴的設備,營造潔淨單純的反應環境。
他提到,半導體制程已達到小於3奈米的線寬精度,但持續推向埃米精進,是產業的必然,更是大家現階段努力的方向,但礙於經費有限,研究的高度也常被迫屈就材料品質,因此,也期待與業者合作,挹注經費以獲得高品質的研究成果。
徐邦昱指出,分子間的作用普遍被認爲是無序、隨機與不可操控,而這項研究成果廣受國際注目,主要在於團隊利用分子間的埃米級電性,將不受控的二維聚集與三維線團,轉換成可受控的準三維自由度,驅動分子整齊排列在奈米溝槽中,成功打通埃米級操作分子的多項技術瓶頸,大面積量化操作液相分子有序化磊晶,將材料的操作精度推進至埃米尺度。
徐邦昱說,團隊成員包含材料系碩士生楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承等,研發過程中需要用到許多動輒上千萬元的先進儀器,但學生以較少的經費、自行動手組裝便宜設備,雖耗時又費力,卻能因此受惠,驗證基礎物理學,更增加學以致用的珍貴實作能力。
成大則表示,半導體產業是臺灣的「護國神山」,擁有領先全球的技術,業者長期投入鉅額資金研發,廠內設備動輒上億元,而成大是培養產業人才的搖籃,設備雖比不上大廠,但有責任帶領學生投身其中,該項成果證明創意與金錢並非等號,只要有心、有學以致用的專業能力與自我要求,就能做到。
成大材料系助理教授徐邦昱團隊最新的研發,讓半導體突破奈米等級,朝更微小的埃米邁進,成果刊登在國際一流的高分子期刊,文章刊出3個月,已有超過1400閱讀數。圖/成大提供