ASML掛保證開放 陸擬狠搶光刻機 大打科技戰

全球光刻機龍頭荷商艾司摩爾（ASML）表示，該公司對向中國出口積體電路光刻機持開放態度，ASML對全球客戶均一視同仁，在法律法規框架下，都將全力支持。（圖/達志影像/shutterstock）

由於EUV（極紫外光刻機）是先進製程必須的關鍵設備，每臺造價約1.3億美元(約37億元新臺幣)，因此成爲半導體大廠在先進製程之爭的關鍵資源。最新消息指出，全球光刻機龍頭荷商艾司摩爾（ASML）表示，該公司對向中國出口積體電路光刻機持開放態度，ASML對全球客戶均一視同仁，在法律法規框架下，都將全力支持。這對中國力抗美國科技圍堵戰，或許是一項契機。

根據大陸《澎湃新聞》報導，昨天在第三屆中國國際進口博覽會現場，全球光刻機龍頭荷商ASML全球副總裁、中國區總裁沈波受訪時表示，公司對向大陸出口積體電路光刻機持開放態度，ASML對全球客戶均一視同仁，在法律法規框架下，都將全力支持。

報導指出，ASML在博覽會上展示了先進的DUV（深紫外光刻機），該產品可生產7奈米及以上製程晶片。沈波還補充，ASML在中國也建立了自己的培訓中心，培養光刻行業人才,在深圳和北京成了兩家技術開發中心，做計算光刻、量測等開發。

沈波強調，EUV（極紫外光刻機）還在等荷蘭政府的出口許可證。他說，ASML必須要在遵守法律法規的前提下進行光刻機出口。但ASML對向中國出口光刻機是保持開放態度的，我們對全球客戶都一視同仁，只要是能夠提供的技術和設備都會全力支持。實際上，2020年第二、第三季度，ASML出口中國的光刻機臺數超過了全球總檯數的20%。

ASML公司總部設於荷蘭Veldhoven市，是全球最大的大積體電路設備製造商之一。該公司所生產的光刻機是生產積體電路過程必不可少的核心角色。目前該公司所產最尖端EUV（極紫外光刻機）的加工極限已達到5奈米。美國蘋果公司最新版iPhone12所搭載晶片即爲在ASML支持下所產5奈米晶片。

之前，ASML曾表示，從荷蘭向中國出口DUV（深紫外光刻機），不需經美國批准，但直接從美國發貨的系統或零件則需獲美國許可。不過，可向中國出口的DUV（深紫外光刻機）技術相對落後，ASML最先進的EUV（極紫外光刻機）能否出口中國仍是未知數。

對此，根據媒體先前的報導，ASML需獲荷蘭政府的許可，才能向中國出口EUV（極紫外光刻機），因它的最新技術被標記爲軍民兩用，但截至目前爲止，ASML仍未獲得許可。